仪器特点
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◆ 超精密全自动测量，四轴CNC控制； |
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◆ 精密花岗岩机台，精度高，稳定性好； |
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◆ 三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统； |
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◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好； |
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◆ 进口自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量； |
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◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源； |
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◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头； |
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◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。 |
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技术参数
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VMU222
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VMU322
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VMU432
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VMU542
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行程(mm)
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200×200×200
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300×200×200
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400×300×200
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500×400×200
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外部尺寸(mm)
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1040×740×1620
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1040×740×1620
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1240×800×1620
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1440×1000×1620
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重量(kg)
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240
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250
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310
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400
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承重(kg)
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25
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25
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25
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25
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测量精度
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XY轴*
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E2=(2.0+L/300)µm
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E2=(2.5+L/300)µm
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Z轴**
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E1=(5.0+L/200)µm
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速度
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XY轴
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200mm/S
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Z轴
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100mm/S
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光栅尺
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Renishaw光栅尺
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CCD
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1/2"CCD 黑白/彩色
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光源
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轮廓光
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LED冷光源，256级亮度可调
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表面光
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6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调
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同轴光
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LED冷光源，256级亮度可调
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光学系统***
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6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326
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软件
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Vispec测量软件
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运动控制
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自主专利的CNC直流伺服系统
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保修期
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1年
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工作环境
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温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%
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振动<0.002g，低于15Hz
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电源
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220V/50Hz/10A
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| * L表示测量长度，以毫米为单位。
** Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
*** 放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。
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应用行业
机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、医疗器械、钟表、仪器仪表等。
测量对象
LCD、FPC、PCB、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。
测量元素
长度、宽度、高度、孔距、间距、Pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。
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